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日本松定高壓電源HCU系列
型號(hào)：HCU系列
品牌：日本松定電源[鵬控代理]
產(chǎn)品說(shuō)明

HCUシリーズ

靜電チャック専用高圧電源

HCUシリーズは、靜電チャック専用として開(kāi)発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることが可能です。

·  靜電チャック専用設(shè)計(jì)

·  ＋、－2出力タイプ

·  極性反転機(jī)能、強(qiáng)制接地機(jī)能によるスムーズな剝離

·  RFフィルター內(nèi)蔵

·  ローカル、リモート、RS232Cで操作可能

出　力

モデル名

出力電圧

出力電流

リップル[mVp-p]

+500V，-500V

10mA

1

HCU-0.5PN6

+1kV，-1kV

3mA

1

HCU-1PN3

+1.5kV，-1.5kV

2mA

100

HCU-1.5PN2

 

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